上海福宜真空設(shè)備有限公司，是致力于真空鍍膜設(shè)備、復(fù)雜鍍膜工藝和真空設(shè)備核心部件的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。公司開發(fā)的主要設(shè)備有：工模具硬質(zhì)涂層鍍膜設(shè)備、磁控濺射鍍膜設(shè)備、多弧離子鍍膜設(shè)備、磁控濺射復(fù)合多弧離子鍍鍍膜設(shè)備、連續(xù)線式磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線、光學(xué)鍍膜設(shè)備、CVD和PECVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備、ICP刻蝕設(shè)備和ALD原子層沉積等系列真空鍍膜和表面處理設(shè)備。 ?

公司創(chuàng)始人和核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)，致力于復(fù)雜鍍膜工藝的開發(fā)，鍍膜工藝和設(shè)備集成的理論和實(shí)際相結(jié)合是公司發(fā)展的主要特色。相對于整機(jī)設(shè)備和鍍膜工藝技術(shù)，國內(nèi)核心部件的研究和制備技術(shù)水平與國外差距更大。公司投入超過1000萬元，重點(diǎn)開發(fā)的核心部件主要有：高材料利用率（材料利用率超過40-60%以上）矩形平面磁控濺射陰極、產(chǎn)業(yè)用旋轉(zhuǎn)磁控濺射陰極（材料利用率達(dá)到80%以上）、線性離子源、多弧陰極、多弧過濾陰極和多弧旋轉(zhuǎn)柱狀陰極等。通過核心部件的研發(fā)，提升了公司整機(jī)設(shè)備的技術(shù)水平、性價(jià)比和核心競爭力，主要技術(shù)達(dá)到國際同期水平。 ?

公司核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)，具有多年軍工企業(yè)和科研院所的工作經(jīng)歷。公司同時(shí)發(fā)揮上海科研院所集中的優(yōu)勢，和中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所建有聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，該實(shí)驗(yàn)室擁有世界先端真空設(shè)備價(jià)值超過4000萬元，具有新能源、儲能和功能薄膜材料制備工藝技術(shù)。公司和上海交通大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)、華東師范大學(xué)和東華大學(xué)等高校建立了緊密合作關(guān)系，強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合、優(yōu)勢互補(bǔ)，開發(fā)真空設(shè)備和鍍膜工藝等核心技術(shù)。公司組建了近20名由博士、碩士和副高以上職稱工程技術(shù)人員組成的研發(fā)團(tuán)隊(duì)；公司擁有凈化等級優(yōu)于1萬級的裝配車間。從軟件到硬件，公司在產(chǎn)品開發(fā)方面積極投入，確保公司產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)水平達(dá)到較高水平。 ?

公司以“用戶第一、質(zhì)量第一”為發(fā)展理念，以提升我國真空鍍膜和表面處理、裝備制造和核心部件的研發(fā)和制造水平為己任，和業(yè)界同仁廣泛交流合作，使國內(nèi)制造技術(shù)走向世界，同步邁向美好的明天！