納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。福宜使用的Keysight第五代原位納米力學測試系統，因其廣且靈活的加載范圍和壓頭移動距離，適用于各種材料和硬質薄膜及涂層檢測，也適用于各種較厚薄膜和涂層、粗糙度較大的樣品的檢測。而且因其獨有的技術優勢，在整個測量過程中熱飄移效應能實現被實時扣除。
021-39107008/15300727009
| 位移測量方式 | 電容位移傳感器 |
| 壓頭總的位移范圍 | ≥1.5mm |
| 最大壓痕深度 | ＞500μm |
| 位移分辨率 | 0.01nm |
| 最大載荷 | ＞500mN |
| 載荷分辨率 | 50nN |
| 定位精度 | 1μm |
| 總的放大倍率 | 250倍和1000倍 |
| 物鏡鏡頭 | 10x和40x |
