ST2263 型雙電測數字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改進形范德堡測量方法測試導體、半導體材料電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數據進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區的測試。
021-39107008/15300727009
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電阻率 |
1×10-4～2×105Ω/cm |
分辨率 |
1×10-5～1×102Ω/cm |
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方阻 |
5×10-4～1×106Ω/cm2 |
分辨率 |
1×10-5～1×102Ω/cm2 |
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電阻 |
1×10-5～2×105Ω |
分辨率 |
1×10-6～1×102Ω |
