| 設備型號 | FE-S系列 |
| 腔體規格 | 依據產品尺寸及產能要求可調 |
| 主要配置 | |
| 鍍膜系統 | 平面磁控濺射陰極 可選2、4、6寸等直流脈沖電源、射頻電源 可選 |
| 工裝系統 | 行星結構、聚焦結構可選；掛板分拆；轉速調節范圍可調 |
| 氣路系統 | 工藝氣體可選 氬氣 氧氣 氮氣 乙炔 氫氣等 |
| 加熱系統 | 溫度設置范圍室溫~450℃ 可選；測溫方式熱電偶 |
| 控制系統 | 西門子PLC、手動控制、自動控制、工藝記錄 |
| 報警保護系統 | 自動監控和保護功能。互鎖保護、缺水欠壓檢測與保護、過流過熱檢測與保護、真空檢測與保護、溫度檢測與保護等 |
| 參數指標 | |
| 極限真空 | ≤9.0×10-5Pa（經烘烤除氣后），關機12小時后，本底真空小于 10Pa； |
| 真空系統漏率 | ≤1.0×10-7Pa?L/S |
| 抽速 | 室溫狀態下從大氣抽到 5.0×10-3Pa的時間少于30min |
| 行業運用 | |
| 產品 | 均勻性要求更高的單面鍍膜產品-MEMS陶瓷金屬化、防護涂層 |
| 應用領域 | 科研院所、新能源、半導體、交通運輸、機械加工、3C電子 |
